Laservorrichtung, Lasersystem und Vorrichtung zur Erzeugug von Extremem Uv-Licht

EP2542936 Art A1 9. Januar 2013

Anmelder: Gigaphoton Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2542936
Aktenzeichen
EP11710044
Anmeldetag
2. März 2011
Veröffentlichung
9. Januar 2013
Rechtsraum
EP
IPC
G02B27/10H01S5/40H01S3/223H01S3/23H05G2/00G02B6/42
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Gigaphoton Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik
Vertreten von
Hards, Andrew München, Deutschland
144
Patente gesamt
25
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik Kunststoff- & Polymertechnik Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff)
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