Träger für Dünne Wafer

EP2544965 Art B1 22. Mai 2019

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2544965
Aktenzeichen
EP11754236
Anmeldetag
11. März 2011
Veröffentlichung
22. Mai 2019
Erteilung
22. Mai 2019
Rechtsraum
EP
IPC
B65D85/38B65D85/86H01L21/673
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik

Vertreten von

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