Kammer zur Ablagerung Atomarer Schichten mit Mehrfachinjektion

EP2545197 Art B1 16. Dezember 2020

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2545197
Aktenzeichen: EP11753949
Anmeldetag: 8. März 2011
Veröffentlichung: 16. Dezember 2020
Erteilung: 16. Dezember 2020
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/455C23C16/44H01L21/205H01L21/02H01J37/32H01L21/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von