Defektverdeckung für Epitaktische Artikel mit Reduzierter Defektdichte

EP2545582 Art A2 16. Januar 2013

Anmelder: Sinmat, Inc., University of Florida Research Foundation, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2545582
Aktenzeichen
EP11754183
Anmeldetag
11. März 2011
Veröffentlichung
16. Januar 2013
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/20H01L21/02C30B25/18C30B29/36
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Sinmat, Inc.
University of Florida Research Foundation, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 University of Florida Research Foundation

Non-profit-Organisation der University of Florida (USA) zur Verwaltung und Vermarktung von Forschungsergebnissen und Patenten der Universität.

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