Beschichtete Struktur zur Messung der Intensität von Reflektiertem Licht, mit der Beschichteten Struktur zur Messung der Intensität von Reflektiertem Licht Ausgestattete Vorrichtung sowie Verfahren zur Bestimmung der Dicke Und/oder Viskosität einer Dünnschicht

EP2546633 Art A1 16. Januar 2013

Anmelder: Tokyo Institute of Technology 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2546633
Aktenzeichen
EP11753443
Anmeldetag
10. März 2011
Veröffentlichung
16. Januar 2013
Rechtsraum
EP
IPC
G01N21/45G01N33/543G01N21/27G01B11/06G01N5/02G01N11/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Firma
Tokyo Institute of Technology
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Institute of Technology

Japanische technische Universität in Tokio mit Schwerpunkt auf Natur- und Ingenieurwissenschaften. Seit 2024 firmiert sie im Zuge einer Fusion als Institute of Science Tokyo.

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