Kollektorspiegelanordnung und Lichtquellenvorrichtung für Extreme Ultraviolettstrahlung unter Verwendung Dieser Kollektorspiegelanordnung
EP2546864
Art A1
16. Januar 2013
Anmelder: Ushio Denki Kabushiki Kaisha 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2546864
- Aktenzeichen
- EP11753241
- Anmeldetag
- 2. März 2011
- Veröffentlichung
- 16. Januar 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/027G03F7/20H05G2/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Ushio Denki Kabushiki Kaisha
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Ushio Inc.
Japanischer Hersteller von Lichtquellen wie Speziallampen, Lasern und LED-Modulen für Industrie, Halbleiterfertigung und Optik mit Sitz in Tokio.
559 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Lang, Friedrich
München, Deutschland
351
Patente gesamt
29
Fachgebiete
11
Anmelder-Länder
Schwerpunkte