System zum Erzeugen von Extrem Uv Strahlung

EP2548080 Art B1 27. Juni 2018

Anmelder: Gigaphoton Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2548080
Aktenzeichen
EP11716314
Anmeldetag
11. März 2011
Veröffentlichung
27. Juni 2018
Erteilung
27. Juni 2018
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20H05G2/00G03B27/54G01J1/42
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Gigaphoton Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
Vertreten von
Hards, Andrew München, Deutschland
144
Patente gesamt
25
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik Kunststoff- & Polymertechnik Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff)
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