System zum Erzeugen von Extrem Uv Strahlung

EP2548080 Art B1 27. Juni 2018

Anmelder: Gigaphoton Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2548080
Aktenzeichen
EP11716314
Anmeldetag
11. März 2011
Veröffentlichung
27. Juni 2018
Erteilung
27. Juni 2018
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20H05G2/00G03B27/54G01J1/42
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Gigaphoton Inc.
Land
🇯🇵 Japan

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