Sputtertarget und Herstellungsverfahren dafür

EP2548993 Art B1 24. August 2016

Anmelder: Mitsubishi Materials Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2548993
Aktenzeichen: EP11755850
Anmeldetag: 8. März 2011
Veröffentlichung: 24. August 2016
Erteilung: 24. August 2016
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/34B22F3/14C22C9/00C23C14/14C22C1/10H01L31/032C23C14/35C22C32/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Materials Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Materials

Japanisches Unternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Sitz in Tokio, tätig in der Verarbeitung von Metallen und Werkstoffen, unter anderem Kupfer, Zement, Hartmetallwerkzeuge und elektronische Materialien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von