Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung partikelarmer Schichten auf Substraten

EP2549521 Art A1 23. Januar 2013

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2549521
Aktenzeichen: EP11174871
Anmeldetag: 21. Juli 2011
Veröffentlichung: 23. Januar 2013
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/34C23C14/35C23C14/50C23C14/56

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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