Herstellungsverfahren für Halbleiterdünnschichten, Vorrichtung zur Herstellung von Halbleiterdünnschichten, Suszeptor und Suszeptorenwerkzeug

EP2549522 Art A1 23. Januar 2013

Anmelder: Sumitomo Electric Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2549522
Aktenzeichen: EP11756047
Anmeldetag: 25. Februar 2011
Veröffentlichung: 23. Januar 2013
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/205C23C16/455C23C16/458C23C16/48H01L21/02H01L29/872H01L29/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumitomo Electric Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Electric Industries

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Osaka, Teil der Sumitomo-Gruppe. Aktiv in Kabel- und Glasfasertechnologie, Halbleitern, Automobilkomponenten sowie Elektronik- und Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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