Process for the production of etched items using fluorosubstituted compounds

EP2549526 Art A1 23. Januar 2013

Anmelder: SOLVAY SA 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2549526
Aktenzeichen
EP11174397
Anmeldetag
18. Juli 2011
Veröffentlichung
23. Januar 2013
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/311
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SOLVAY SA
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 Solvay

Belgischer Chemiekonzern mit Sitz in Brüssel, tätig in den Bereichen Spezialchemikalien, Materialien und Kunststoffe für Industrie und Konsumgüter. Das Unternehmen wurde 1863 gegründet.

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