Strahllinie für eine Euv-Strahlungsquelle
EP2550564
Art B1
4. März 2015
Anmelder: ETH Zurich 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2550564
- Aktenzeichen
- EP11714925
- Anmeldetag
- 16. März 2011
- Veröffentlichung
- 4. März 2015
- Erteilung
- 4. März 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ETH Zurich
- Land
- 🇨🇭 Schweiz
🇨🇭
ETH Zürich
Eidgenössische Technische Hochschule Zürich, Schweizer Hochschule mit Forschungsschwerpunkten in Natur-, Ingenieur- und Materialwissenschaften.
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Fachgebiete
Vertreten von
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Rentsch Partner AG
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