Spiegel und System zum Erzeugen von Extrem Uv Strahlung

EP2550665 Art B1 25. Juli 2018

Anmelder: Gigaphoton Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2550665
Aktenzeichen
EP11716315
Anmeldetag
22. März 2011
Veröffentlichung
25. Juli 2018
Erteilung
25. Juli 2018
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20B82Y10/00G02B5/08G21K1/06
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Gigaphoton Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik
Vertreten von
Hards, Andrew München, Deutschland
144
Patente gesamt
25
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik Kunststoff- & Polymertechnik Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff)
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