Verfahren zur Formung Irregulärer Oberflächen mittels eines Plasmaätzprozesses

EP2551893 Art B1 27. Mai 2015

Anmelder: LINTEC Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2551893
Aktenzeichen: EP11759047
Anmeldetag: 5. Januar 2011
Veröffentlichung: 27. Mai 2015
Erteilung: 27. Mai 2015
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3065H01L51/44

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LINTEC Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Lintec

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, spezialisiert auf Klebstoffe, Klebebänder und Spezialfolien für Elektronik, Verpackung und industrielle Anwendungen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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