Verbessertes Verfahren zur Erstellung von Isolationsrinnen in einem Halbleitersubstrat auf Isoliermaterial
EP2551899
Art A1
30. Januar 2013
Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2551899
- Aktenzeichen
- EP12177539
- Anmeldetag
- 23. Juli 2012
- Veröffentlichung
- 30. Januar 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/762H01L21/311
Abstract
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Anmelder
- Firma
- Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.
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