Ablagerung eines Metallnitridhaltigen Films mit einer Kombination aus Aminometall- und Halogenierten Metall-Vorläufern
EP2553141
Art A2
6. Februar 2013
Anmelder: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2553141
- Aktenzeichen
- EP11763521
- Anmeldetag
- 1. April 2011
- Veröffentlichung
- 6. Februar 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/448H01L21/205C23C16/34C23C16/36C23C16/44C23C16/455
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Air Liquide
Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.
2.774 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Grout de Beaufort, François-Xavier
Paris, Frankreich
183
Patente gesamt
20
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte