Vakuumpumpenvorrichtung

EP2553267 Art B1 24. September 2014

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2553267
Aktenzeichen
EP11706924
Anmeldetag
25. Februar 2011
Veröffentlichung
24. September 2014
Erteilung
24. September 2014
Rechtsraum
EP
IPC
F04B37/14F04B37/02F04B37/06F04B41/06F04D19/04F04C28/02B01J3/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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