Verbesserte Probenkammer für durch Laserablation Induktiv Gekoppelte Plasmamassenspektroskopie

EP2553709 Art A2 6. Februar 2013

Anmelder: Electro Scientific Industries, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2553709
Aktenzeichen: EP11763447
Anmeldetag: 31. März 2011
Veröffentlichung: 6. Februar 2013
Rechtsraum: EP
IPC: H01J49/04H01J49/26G01N27/62

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Electro Scientific Industries, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Electro Scientific Industries

Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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