Direkte Aufbringung eines Feuchtmittels für eine Lithographievorrichtung mit variablen Daten
EP2554382
Art B1
27. Juli 2016
Anmelder: Palo Alto Research Center Incorporated 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2554382
- Aktenzeichen
- EP12178608
- Anmeldetag
- 31. Juli 2012
- Veröffentlichung
- 27. Juli 2016
- Erteilung
- 27. Juli 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B41F7/30B41F7/32B41F7/34B41C1/10B41N3/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Palo Alto Research Center Incorporated
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Palo Alto Research Center
US-amerikanisches Forschungsinstitut in Palo Alto, bekannt als PARC, das für Xerox und externe Auftraggeber Grundlagen- und angewandte Forschung in Informatik, Elektronik und Materialwissenschaften betreibt.
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Vertreten von
Skone James, Robert Edmund
London, Großbritannien
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Weitere Vertreter
-
Gill Jennings & Every LLP
Gill Jennings & Every LLP · London