Gebondeter Soi-Wafer und Verfahren zu Seiner Herstellung

EP2555227 Art B1 3. Juli 2019

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2555227
Aktenzeichen
EP11765184
Anmeldetag
1. März 2011
Veröffentlichung
3. Juli 2019
Erteilung
3. Juli 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02H01L21/20H01L21/205H01L27/12H01L21/762H01L29/786
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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Kanzlei
Wuesthoff & Wuesthoff München, Deutschland

Wuesthoff & Wuesthoff wurde 1927 in Berlin von Dr. Franz und Dr. Freda Wuesthoff gegründet, die erste deutsche Patentanwältin, und zog 1949 nach München. Schwerpunkte liegen in Biotechnologie und Life Sciences, beraten wird auch auf Chinesisch, Koreanisch und Japanisch.

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