Lichtquellenvorrichtung, Optische Vorrichtung, Belichtungsvorrichtung, Geräteherstellungsverfahren, Beleuchtungsverfahren, Belichtungsverfahren sowie Verfahren zur Herstellung der Optischen Vorrichtung

EP2555228 Art A1 6. Februar 2013

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2555228
Aktenzeichen
EP11765727
Anmeldetag
31. März 2011
Veröffentlichung
6. Februar 2013
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20G02B19/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Kanzlei
Arnold & Siedsma Den Haag, Niederlande

Arnold & Siedsma wurde 1920 gegründet und liegt im Haager Büro in Laufnähe zum Benelux-Amt für geistiges Eigentum. Mit Standorten in den Niederlanden, Belgien, München und London stützt sie sich auf ein weltweites Agentennetzwerk.

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