Titanhaltige Vorläufer zur Dampfablagerung

EP2556181 Art A2 13. Februar 2013

Anmelder: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2556181
Aktenzeichen
EP11766624
Anmeldetag
6. April 2011
Veröffentlichung
13. Februar 2013
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/30C23C16/22C23C16/16H01L21/205C07F7/28C23C16/455C23C16/40C23C16/18
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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