System zur Erkennung von Geladenen Partikeln und Inspektionssystem mit mehreren Teilstrahlen

EP2556527 Art B1 22. März 2017

Anmelder: Carl Zeiss Microscopy GmbH, Applied Materials Israel Ltd., Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2556527
Aktenzeichen: EP11712487
Anmeldetag: 31. März 2011
Veröffentlichung: 22. März 2017
Erteilung: 22. März 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/244H01J37/09

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss Microscopy GmbH
Applied Materials Israel Ltd.
Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss Microscopy GmbH

Deutscher Hersteller von Mikroskopen und Bildgebungssystemen für Forschung und Industrie, Teil der Zeiss-Gruppe.

564 Patente in unserer Datenbank

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von