Verfahren zur Herstellung eines Epitaktischen Einkristall-Siliziumkarbidsubstrats

EP2557205 Art B1 5. Juni 2019

Anmelder: Showa Denko K.K., Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2557205
Aktenzeichen: EP11766043
Anmeldetag: 7. April 2011
Veröffentlichung: 5. Juni 2019
Erteilung: 5. Juni 2019
Rechtsraum: EP
IPC: C30B29/36C23C16/42C30B25/16H01L21/205H01L21/02C30B25/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Showa Denko K.K.
Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Showa Denko

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, seit 2023 als Resonac Holdings firmierend. Aktiv in Petrochemie, Elektronikmaterialien, Batteriematerialien sowie Halbleiterchemikalien.

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🇯🇵 Nippon Steel

Japanischer Stahlkonzern mit Sitz in Tokio, einer der größten Stahlhersteller der Welt. Aktiv in der Produktion von Stahl für Automobilbau, Bauwesen und Schiffbau sowie in Werkstoff- und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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