Positive lichtempfindliche Harzzusammensetzung und Verfahren zur Formung eines gehärteten Films damit

EP2557456 Art A3 17. April 2013

Anmelder: Fujifilm Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2557456
Aktenzeichen: EP12191971
Anmeldetag: 30. März 2009
Veröffentlichung: 17. April 2013
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/039G03F7/004G03F7/40H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujifilm Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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