Kombination aus Teilchenstrahl- und Fluoreszenzmikroskop

EP2557588 Art B1 12. Juli 2017

Anmelder: JEOL LTD., Inter-University Research Institute Corporation National Institutes of Natural Sciences, Nagayama, Kuniaki, JEOL Ltd., Nagayama IP Holdings, LLC 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2557588
Aktenzeichen
EP11765941
Anmeldetag
6. April 2011
Veröffentlichung
12. Juli 2017
Erteilung
12. Juli 2017
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/26H01J37/141H01J37/16H01J37/20H01J37/22
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
JEOL LTD.
Inter-University Research Institute Corporation National Institutes of Natural Sciences
Nagayama, Kuniaki
JEOL Ltd.
Nagayama IP Holdings, LLC
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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