Verfahren zum Beschichten eines Substrates Innerhalb einer Vakuumkammer mittels Plasmaunterstützer Chemischer Dampfabscheidung

EP2558609 Art B1 28. September 2016

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2558609
Aktenzeichen: EP11713196
Anmeldetag: 7. April 2011
Veröffentlichung: 28. September 2016
Erteilung: 28. September 2016
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/34C23C16/503

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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