Verfahren zur Innenbeschichtung von Funktionsschichten mit einem Vergütungsmaterial.

EP2558611 Art A1 20. Februar 2013

Anmelder: Forschungszentrum Jülich GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2558611
Aktenzeichen: EP11724528
Anmeldetag: 5. April 2011
Veröffentlichung: 20. Februar 2013
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/04C23C16/40C23C16/455F01D5/28H01L21/768

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Forschungszentrum Jülich GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Forschungszentrum Jülich

Deutsche Großforschungseinrichtung der Helmholtz-Gemeinschaft mit Sitz in Jülich, gegründet 1956. Forschungsschwerpunkte sind Energie, Information und Gehirnforschung.

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Fachgebiete

Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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