Verfahren für Elektronenstrahllithografie mit Eckenrundungskorrektur
EP2559051
Art B1
19. Juli 2017
Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2559051
- Aktenzeichen
- EP11714038
- Anmeldetag
- 13. April 2011
- Veröffentlichung
- 19. Juli 2017
- Erteilung
- 19. Juli 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/317G03F7/20
Abstract
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Anmelder
- Firma
- Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.
8.392 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Nguyen-Van-Yen, Christian
Arcueil, Frankreich
533
Patente gesamt
29
Fachgebiete
18
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Schwerpunkte