Ionenstrahlvorrichtung und Ionenstrahlverarbeitungsverfahren

EP2560186 Art A1 20. Februar 2013

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2560186
Aktenzeichen: EP11768836
Anmeldetag: 12. April 2011
Veröffentlichung: 20. Februar 2013
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/317H01J37/30H01J37/304H01J37/305

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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