Kollektorspiegelanordnung und Verfahren zur Produktion von Euv Strahlung
EP2561407
Art B1
10. Dezember 2014
Anmelder: ASML Netherlands B.V., ASML Netherlands BV 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2561407
- Aktenzeichen
- EP11709923
- Anmeldetag
- 18. März 2011
- Veröffentlichung
- 10. Dezember 2014
- Erteilung
- 10. Dezember 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B5/08G21K5/04G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASML Netherlands B.V.
ASML Netherlands BV - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Fachgebiete
Vertreten von
Siem, Max Yoe Shé
Amsterdam, Niederlande
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