Öffnung zur Bildung eines geladenen Teilchenstrahls und geladene Teilchenstrahlenbelichtungsvorrichtung
EP2562765
Art A3
23. April 2014
Anmelder: Canon Kabushiki Kaisha 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2562765
- Aktenzeichen
- EP12175854
- Anmeldetag
- 11. Juli 2012
- Veröffentlichung
- 23. April 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G21K1/02H01J37/09H01J37/18
Abstract
An aperture (001, 003, 117) that forms a charged particle beam includes a non-evaporable getter (004) on a surface of the aperture (001, 003, 117). The non-evaporable getter (004) is disposed in a position to which the charged particle beam is irradiated. The degradation of the exhaust performance around a charged particle source (108) while the charged particle source (108) is driven is suppressed.
Anmelder
- Firma
- Canon Kabushiki Kaisha
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon
Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.
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