Herstellungsverfahren für ein Bauelement mit durch Silizidierung von Source- und Drain-Gebieten vorgespannten Transistoren, und Bauelement

EP2562804 Art B1 18. Juni 2014

Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2562804
Aktenzeichen
EP12181061
Anmeldetag
20. August 2012
Veröffentlichung
18. Juni 2014
Erteilung
18. Juni 2014
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/84H01L27/12H01L21/285H01L29/66H01L21/8238H01L29/78H01L27/092H01L29/10
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.

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