Plasmaunterstützte Abscheidung von mehreren Mo/si-Lagen

EP2563947 Art A1 6. März 2013

Anmelder: Corning Incorporated 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2563947
Aktenzeichen
EP11721856
Anmeldetag
29. April 2011
Veröffentlichung
6. März 2013
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/32C23C14/22C23C14/58
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Corning Incorporated
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Corning

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Corning, New York. Corning ist spezialisiert auf Spezialglas, Keramik und optische Fasern für Displays, Telekommunikation, Automobiltechnik, Life Sciences und Umwelttechnik.

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