Aus einem Leitfähigen Gleitfilm Geformtes Element

EP2568059 Art B1 6. Juli 2016

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2568059
Aktenzeichen
EP11777486
Anmeldetag
6. Mai 2011
Veröffentlichung
6. Juli 2016
Erteilung
6. Juli 2016
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/06G02B7/02G03B17/14C23C14/32C23C14/54H01B1/22H01B1/24
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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