Photomaskenrohling, Photomaske und Herstellungsprozess dafür

EP2568335 Art B1 25. Mai 2016

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2568335
Aktenzeichen: EP12182130
Anmeldetag: 29. August 2012
Veröffentlichung: 25. Mai 2016
Erteilung: 25. Mai 2016
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/26G03F1/38G03F1/50G03F1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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