Pellikel für die Lithographie und Herstellungsverfahren hierfür
EP2568336
Art B1
1. Juli 2020
Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2568336
- Aktenzeichen
- EP12006305
- Anmeldetag
- 6. September 2012
- Veröffentlichung
- 1. Juli 2020
- Erteilung
- 1. Juli 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/64G03F1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Chemical
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.
1.545 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Lehmann, Judith Christina
Stuttgart, Deutschland
95
Patente gesamt
19
Fachgebiete
8
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
RDL Patentanwälte PartG mbB
RDL Patentanwälte PartG mbB · Stuttgart
-
Raible Deissler Lehmann Patentanwälte PartG mbB
Raible Deissler Lehmann Patentanwälte PartG mbB · Stuttgart