Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements und Vorrichtung zur Herstellung eines Halbleiterbauelements

EP2568495 Art A1 13. März 2013

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2568495
Aktenzeichen: EP11777391
Anmeldetag: 6. Mai 2011
Veröffentlichung: 13. März 2013
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/40G03F7/00H01L21/027H01L21/033H01L21/3213

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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