Mikrowellen Bearbeitungs Vorrichtung und zugehörige Kontroll Methode

EP2568777 Art A1 13. März 2013

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2568777
Aktenzeichen: EP12183101
Anmeldetag: 5. September 2012
Veröffentlichung: 13. März 2013
Rechtsraum: EP
IPC: H05H1/46H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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