Microelektromechanischer Resonator und Entsprechendes Herstellungsverfahren

EP2569862 Art B1 8. April 2015

Anmelder: Teknologian Tutkimuskeskus VTT 🇫🇮

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2569862
Aktenzeichen
EP11722749
Anmeldetag
5. Mai 2011
Veröffentlichung
8. April 2015
Erteilung
8. April 2015
Rechtsraum
EP
IPC
H03H3/007H03H9/24
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Teknologian Tutkimuskeskus VTT
Land
🇫🇮 Finnland
🇫🇮 VTT Technical Research Centre of Finland

VTT ist eine staatliche finnische Forschungseinrichtung mit Sitz in Espoo, die angewandte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Technik, Energie und Materialwissenschaften betreibt.

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