Gerichtete Spotless-Arc-Dampfablagerung und Entsprechendes Verfahren dafür

EP2572014 Art A1 27. März 2013

Anmelder: University of Virginia Patent Foundation, Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung, Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der Angewandten Forschung e.V. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2572014
Aktenzeichen
EP11778439
Anmeldetag
6. Mai 2011
Veröffentlichung
27. März 2013
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/34C23C14/30C23C14/22C23C14/00H01J37/32H01J37/305
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
University of Virginia Patent Foundation
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der Angewandten Forschung e.V.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 University of Virginia Patent Foundation

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🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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