Selektives Ätzen einer Kohlenstoffnanoröhrchen-Polymermatrix auf einer Kunststoffunterstruktur

EP2572388 Art B1 7. Januar 2015

Anmelder: Merck Patent GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2572388
Aktenzeichen: EP11716380
Anmeldetag: 26. April 2011
Veröffentlichung: 7. Januar 2015
Erteilung: 7. Januar 2015
Rechtsraum: EP
IPC: H01L51/44H01L51/00H01L51/48

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Merck Patent GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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