Verfahren zur Erkennung von Ablagerungen in einer Vakuumpumpe, und Vakuumpumpe, die zur Ausführung des Verfahrens ausgelegt ist
EP2573404
Art B1
13. Juli 2022
Anmelder: Edwards Japan Limited 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2573404
- Aktenzeichen
- EP11783381
- Anmeldetag
- 27. April 2011
- Veröffentlichung
- 13. Juli 2022
- Erteilung
- 13. Juli 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04D19/04F04B49/10F04D27/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Edwards Japan Limited
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Edwards Japan
Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.
290 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Norton, Ian Andrew
Burgess Hill, Großbritannien
310
Patente gesamt
18
Fachgebiete
6
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Clark, Charles Robert
NoneWest