Interferometersystem mit Luftleitung für feinmechanische Trägerplatte
EP2573507
Art B1
27. Februar 2019
Anmelder: Mitutoyo Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2573507
- Aktenzeichen
- EP12185071
- Anmeldetag
- 19. September 2012
- Veröffentlichung
- 27. Februar 2019
- Erteilung
- 27. Februar 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B5/008F16C32/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Mitutoyo Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Mitutoyo Corporation
Mitutoyo ist ein japanischer Hersteller von Präzisionsmessgeräten mit Sitz in Kawasaki. Die Patente betreffen Messtechnik, Koordinatenmessgeräte und Sensorik.
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