Interferometersystem mit Luftleitung für feinmechanische Trägerplatte

EP2573507 Art B1 27. Februar 2019

Anmelder: Mitutoyo Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2573507
Aktenzeichen
EP12185071
Anmeldetag
19. September 2012
Veröffentlichung
27. Februar 2019
Erteilung
27. Februar 2019
Rechtsraum
EP
IPC
G01B5/008F16C32/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Mitutoyo Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Mitutoyo Corporation

Mitutoyo ist ein japanischer Hersteller von Präzisionsmessgeräten mit Sitz in Kawasaki. Die Patente betreffen Messtechnik, Koordinatenmessgeräte und Sensorik.

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