Formmessvorrichtung und Formmessverfahren

EP2573510 Art B1 14. Februar 2018

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2573510
Aktenzeichen
EP11783256
Anmeldetag
16. Mai 2011
Veröffentlichung
14. Februar 2018
Erteilung
14. Februar 2018
Rechtsraum
EP
IPC
G01B11/25G01B11/06H04N7/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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