Formmessvorrichtung und Formmessverfahren
EP2573510
Art B1
14. Februar 2018
Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2573510
- Aktenzeichen
- EP11783256
- Anmeldetag
- 16. Mai 2011
- Veröffentlichung
- 14. Februar 2018
- Erteilung
- 14. Februar 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B11/25G01B11/06H04N7/18
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Nikon Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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Vertreten von
-
Hoffmann Eitle
Hoffmann Eitle · München