Elektronenmikroskop und Verfahren zur Einstellung der Sichtachse Dieses Elektronenmikroskops

EP2573792 Art A1 27. März 2013

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2573792
Aktenzeichen
EP11783212
Anmeldetag
20. April 2011
Veröffentlichung
27. März 2013
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/04H01J37/147H01J37/22H01J37/26
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Hitachi High-Technologies Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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