Verfahren zum Herstellen einer Beschichtung eines Substrats

EP2574407 Art B1 2. September 2015

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2574407
Aktenzeichen: EP12075114
Anmeldetag: 27. September 2012
Veröffentlichung: 2. September 2015
Erteilung: 2. September 2015
Rechtsraum: EP
IPC: B05D1/36G03F7/09H01L21/768G03F7/16H01L23/367// B05D1/00B05D3/04B05D1/38

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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