Teilchenstrahlsystem und Verfahren zum Betreiben dieses Systems
EP2575159
Art B1
20. April 2016
Anmelder: Carl Zeiss Microscopy GmbH, Carl Zeiss NTS GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2575159
- Aktenzeichen
- EP11007980
- Anmeldetag
- 30. September 2011
- Veröffentlichung
- 20. April 2016
- Erteilung
- 20. April 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/28H01J37/04H01J37/147H01J37/26
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss Microscopy GmbH
Carl Zeiss NTS GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss Microscopy GmbH
Deutscher Hersteller von Mikroskopen und Bildgebungssystemen für Forschung und Industrie, Teil der Zeiss-Gruppe.
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Fachgebiete
Vertreten von
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Diehl & Partner
Diehl & Partner · München
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Diehl & Partner GbR · München