Verfahren zum Züchten eines Halbleiterkristalls

EP2575161 Art B1 6. Mai 2015

Anmelder: Japan Science and Technology Agency 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2575161
Aktenzeichen
EP12199368
Anmeldetag
18. März 2004
Veröffentlichung
6. Mai 2015
Erteilung
6. Mai 2015
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/203H01L21/02C30B23/02C30B29/40
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Japan Science and Technology Agency
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Japan Science and Technology Agency

Japanische staatliche Förderorganisation für Wissenschaft und Technologie, die Forschungsprojekte finanziert und den Technologietransfer zwischen Universitäten und Industrie unterstützt. Die Behörde untersteht dem japanischen Bildungsministerium.

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