Antireflexbeschichtungszusammensetzung und Verfahren zur Herstellung einer Mikroelektronischen Vorrichtung

EP2577361 Art B1 12. Oktober 2016

Anmelder: Merck Patent GmbH, AZ Electronic Materials USA Corp. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2577361
Aktenzeichen
EP11733906
Anmeldetag
1. Juni 2011
Veröffentlichung
12. Oktober 2016
Erteilung
12. Oktober 2016
Rechtsraum
EP
IPC
G02B1/04G02B1/10G03F7/09G03F7/004
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Merck Patent GmbH
AZ Electronic Materials USA Corp.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

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